描述：

FSM500TC 應力測量儀

特殊功能和優(yōu)點

1. 多重導向銷設計,手動裝載樣品,有優(yōu)異的重復性與再現(xiàn)性研究。

2. 優(yōu)異的分辨率測量0.2um弓形高度變化超過 20M 的平鏡(大約 0.8%)

3. 全3D測繪的手動旋轉(zhuǎn)平臺。

4. 測量局部應力-測量42 點/mm 并大于8400 點/200mm晶圓。這種測量密度獲得更好的信號噪聲比。

5. *封閉的設計,溫度更穩(wěn)定。

6. 特殊的設計使震動偏移降到低。

7. 圖形式使用界面更容易使用。

8. 當改變彈性模數(shù),晶圓或薄膜厚度設備會自動重新計算應力保存數(shù)據(jù)文檔。

9. 可以計算雙軸彈性模量和線膨脹系數(shù)。

10. 可以計算應力的均勻性。

11. 可以輸出數(shù)據(jù)到Excel ,提供給SPC 分析

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