描述：

傳動形式:X/Y/Z軸進口上銀精密線性導軌搭配進口上銀研磨級滾珠螺桿

攝像機1:1/2"CCD數(shù)字相機 鏡頭:大視野(0.1X雙遠心鏡頭)

物方FOV:100.0mm 景深:±15mm 視野精度:≤0.006mm

攝像機2:1/2"CCD數(shù)字相機 鏡頭:小視野(0.45X雙遠心鏡頭)

物方FOV:25.0mm景深:土1.5mm視野精度:≤0.004mm

光源系統(tǒng):表面光源與透射光源LED冷光源、壽命長、亮度可調(diào)

伺服驅動:X/Y/Z三軸高性能閉環(huán)伺服電機,雙重閉環(huán)控制系統(tǒng)

線性精度:金屬貼片光學尺分辨率:X/Y/Z軸0.0002mm(0.2μm)

線性精度:≤2.0um+L/200

激光測量系統(tǒng):基恩士激光測量傳感器LK-G30工作距離:30mm

測量范圍:土5mm(選配)

探針測量系統(tǒng):英國雷尼紹1mm42mm(選配)

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