描述：

手聯(lián)合2050光學(xué)鍍膜機(jī) 離子蒸發(fā)電鍍膜機(jī)AR AF包安裝調(diào)試保修服務(wù)

鍍膜操作

對(duì)于蒸發(fā)鍍膜,根據(jù)需要選擇合適的蒸發(fā)源加熱方式,并設(shè)置好加熱參數(shù),如采用電阻加熱,可調(diào)節(jié)電流使電阻升溫來(lái)加熱鍍膜材料;若為濺射鍍膜,根據(jù)工藝要求設(shè)置好濺射參數(shù),如濺射功率、氣體流量等。

當(dāng)真空度和其他參數(shù)達(dá)到設(shè)定值后,開(kāi)啟工件旋轉(zhuǎn)裝置,使基片均勻地暴露在鍍膜環(huán)境中。

打開(kāi)鍍膜材料的供給裝置,如蒸發(fā)鍍膜中打開(kāi)蒸發(fā)源,或?yàn)R射鍍膜中啟動(dòng)離子源等,開(kāi)始鍍膜過(guò)程,期間需密切關(guān)注鍍膜的厚度、速率等參數(shù),可通過(guò)晶控儀等設(shè)備進(jìn)行監(jiān)測(cè)和控制。

結(jié)束操作

鍍膜完成后,先關(guān)閉鍍膜材料供給裝置,停止鍍膜。

關(guān)高真空表頭、關(guān)分子泵,待分子泵顯示到 50 時(shí),依次關(guān)高閥、前級(jí)、機(jī)械泵,這期間約需 40 分鐘。

到 50 以下時(shí),再關(guān)維持泵,關(guān)閉總電源、水泵、氣源等。

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