描述：

設(shè)備型號:ZZS-920光學(xué)真空鍍膜機(jī)

腔體尺寸:φ920mmxH1000mm 恢復(fù)真空:4x10-3Pa,小于15分鐘

工件盤:φ850SR700 加熱溫度:最高350°C

晶控:SQC310單探頭六探頭 所需電力:三相、380V、50HZ

電子槍:雙槍 設(shè)備進(jìn)水壓:0.2~04MPa

真空系統(tǒng):擴(kuò)散泵+雙級旋片泵+羅茨泵 所需氣壓:0.6~0.8MPa

極限真空:4x10-4Pa 設(shè)備重量:3T

真空鍍膜設(shè)備的具體配置可根據(jù)客戶的鍍膜工藝要求進(jìn)行量身設(shè)計(jì)及制作

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