描述：

回收/出售日本光馳光學(xué)膜層鍍膜機(jī) 鍍膜線(xiàn) 光學(xué)電鍍機(jī) 真空鍍膜機(jī)

規(guī)格

設(shè)備名稱(chēng) OTFC-900CBI/DBI

真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)

工件架 φ 790mm

工件架轉(zhuǎn)速 10 rpm to 30 rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm

反射式/透射式可選

水晶式膜厚計(jì) XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源 電子2套

離子源 10cm RF 離子源

排氣系統(tǒng) 機(jī)械泵+1個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或1個(gè)冷凝泵)

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