描述：

韓一 1500 光學(xué)鍍膜機是韓國韓一公司生產(chǎn)的一款用于光學(xué)鍍膜的設(shè)備,以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:

設(shè)備結(jié)構(gòu)與原理

真空系統(tǒng):主要由機械泵、羅茨泵、深冷泵等組成,如愛德華 EM275 機械泵、愛德華 EM2600 羅茨泵和韓國 V-PLUS1000H 深冷泵,可使鍍膜腔室達(dá)到高真空度,為鍍膜過程提供穩(wěn)定的真空環(huán)境,減少氣體分子對鍍膜質(zhì)量的影響。

鍍膜源系統(tǒng)

電子槍:通常配備 1 個韓一 12 穴電子,能夠?qū)㈠兡げ牧霞訜嵴舭l(fā),使其以原子或分子的形式沉積在基片表面,實現(xiàn)鍍膜增厚。

離子源:采用韓一霍爾離子源,可產(chǎn)生離子束,對基片表面進行預(yù)處理或在鍍膜過程中輔助沉積,提高膜層的附著力和致密性。

夾具與旋轉(zhuǎn)系統(tǒng):采用雙回轉(zhuǎn)方式的 Fixture,即工件在公轉(zhuǎn)的同時還進行自轉(zhuǎn),使鍍膜更加均勻,且夾具可以交換,適用于不同形狀和尺寸的工件。

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