描述：

一、基礎規(guī)格

晶圓兼容性

尺寸:支持 6 英寸(Φ150mm)和 8 英寸(Φ200mm)晶圓。部分二手設備描述中提及 “6-12 英寸”,但主流資料顯示其標準配置為 6/8 英寸,12 英寸可能需通過特殊定制或升級實現(xiàn)。

厚度范圍:標準配置支持 1mm 以上晶圓加工,通過工藝優(yōu)化可實現(xiàn)數(shù)十微米的超薄減薄(如 50-100μm)。

電源與功耗

輸入電源:AC 200V,50/60Hz,3 相,總功率需求 17kVA。

接地標準:JIS 第三類(≤100Ω)。

二、機械與運動參數(shù)

主軸系統(tǒng)

電機功率:4.2kW 直接驅動高壓電機,支持高剛性研磨。

轉速范圍:砂輪主軸轉速 1,000–7,000rpm(1rpm 步進精度),適配粗磨與精磨場景。

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