描述：

一、主要用途

OTFC-1800鍍膜機(jī)主要用于生產(chǎn)紅外截止濾光片、分色濾光片等光學(xué)元件的成膜過(guò)程。通過(guò)鍍膜技術(shù),可以在物體表面形成一層具有特定功能的薄膜,從而改變物體的光學(xué)性能。

二、主要特點(diǎn)

光學(xué)膜厚監(jiān)控:采用60點(diǎn)/80點(diǎn)式光學(xué)膜厚監(jiān)控儀,能夠精確控制鍍膜厚度,確保鍍膜質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性。

離子源與電子槍:使用均勻分布的高離子電流密度的離子源,并搭載雙電子槍,多點(diǎn)和環(huán)型坩堝可鍍100層以上,提高了鍍膜效率和鍍膜質(zhì)量。

全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程:利用自動(dòng)蒸鍍控制系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)蒸鍍過(guò)程,減少了人工操作,提高了生產(chǎn)效率和鍍膜質(zhì)量的可控性。

三、技術(shù)參數(shù)

規(guī)格:設(shè)備名稱(chēng)為OTFC-1800CBI/DBI,真空室尺寸為Φ1800mm×1920mm(H),工件架尺寸為Φ1600mm。

性能:達(dá)到壓力7.0×10-3Pa),基板溫度最高可達(dá)350℃。

工作條件:設(shè)備尺寸為約5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H),電源為3相、200V、50/60Hz、約150kVA,水流量180升/分以上,空氣壓力0.5MPa以上。

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