描述：

鍍膜電源

AE pinnacle-20k-4臺

靜電消除電源

ULVAC A2K-1臺

冷阱

ULVAC c30vr-4臺

ULVAC CRYO-T12FBH-4個

ULVAC RMS50-4個

分子泵

ULVAC UTM3301FW 1節(jié)一個 (共計8個)

流量計

HORIBA Z500 -8臺

載盤尺寸

140*111cm

臺車

一臺可裝16片-2臺

靶材的長度1m2,產品是最長能鍍1m1。

上面有4個靶位, 實際有3個靶材

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