電流測量范圍:1 fA 至 1 A(分辨率 1 fA,偏移精度 20 fA)。
電壓測量范圍:1 μV 至 200 V。
通道配置:內(nèi)置 4 個源測量單元(SMU),支持擴展至 6 個 SMU。
脈沖測量:支持脈沖模式(脈沖寬度低至微秒級),適用于動態(tài)特性測試。
Kelvin 連接:支持開爾文四線測量,消除引線電阻影響,適用于低電阻(如接觸電阻)測試。
自動化功能:內(nèi)置 HP Instrument BASIC 編程語言,支持觸發(fā) I/O 和外部設(shè)備同步。
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