二手日本光馳紅外晶體鍍膜機/濾光片光學(xué)電鍍機/真空鍍膜機1300MM介紹型號 OTFC1300C
序列號 S0019
雙 JST-10F-2GUN
坩堝點數(shù) 24點+28點
機械升壓泵 EH500
冷泵 冷凍U20P*2臺
離子源(射頻離子源) 有
光學(xué)觀測(光控&精控) 有
基板加熱heater 有
回轉(zhuǎn) 中心回轉(zhuǎn)
阻蒸 無
光馳OTFC1300
型號 OTFC1300DB
序列號 SO567
雙 JST-10F-2GUN
坩堝點數(shù)(環(huán)型)
旋轉(zhuǎn)泵 24穴
擴散泵 22*2臺
冷凍泵 PolcoldPFC-670HC
離子源(射頻離子源) 無
光學(xué)觀測有無(光控&精控) 有
基板加熱heater有無 有
回轉(zhuǎn) 中心回轉(zhuǎn)
阻蒸 無
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