描述：

光馳OTFC1800

真空室: SIS304, 中55018001

工件架:中14002

工件架轉(zhuǎn)速: 10rpm to 30rpm (可變)。

光學(xué)膜厚控制: H0I2- -R -VIS350A2

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀:波長(zhǎng)范圍: 350nm to 1100mm反射式

水晶式膜厚計(jì): XTC/3+6 點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源:雙,傘個(gè)。

離子源: 23寸射頻源0

排氣系統(tǒng):機(jī)械泵1個(gè),擴(kuò)散泵Polycold 4 日本愛(ài)發(fā)科2401 + 12004

性能

電源: 3相200v, 50/ 60Hz,約120EVA

水流量: 180升/分以上。

重量:約10000

年份。2014/2015年。

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