描述：

### 周期性維護(hù)

1. **腔室與屏蔽罩**:按生產(chǎn)批次,定期拆洗屏蔽板、滾筒;濺射沉積物堆積會(huì)產(chǎn)生顆粒、掉膜、漏真空;使用無(wú)塵布 + IPA,嚴(yán)禁硬質(zhì)刮擦腔體。

2. **冷阱邁斯納線圈**:定期除霜再生;水汽吸附飽和會(huì)直接導(dǎo)致薄膜吸收變大。

3. **靶材與 Dual?Cathode 陰極**:檢查絕緣件、絕緣陶瓷,清理濺射沉積物,防止打弧短路;監(jiān)控靶材剩余厚度,及時(shí)更換。

4. **ICP 激化源**:清理 ICP 天線沉積物;定期校準(zhǔn) RF 匹配。

5. **真空密封件**:Load?Lock 閘門、主腔門 O?Ring 定期檢查、更換;

6. **MFC 質(zhì)量流量計(jì)**:季度校準(zhǔn)氣體流量,流量偏移直接造成折射率漂移。

### 常見(jiàn)故障現(xiàn)象

- 抽速變慢:腔室污染 / 冷阱吸附飽和 / O 圈漏氣;

- 光譜偏移重復(fù)性差:電網(wǎng)電壓不穩(wěn)、MFC 漂移、靶材表面中毒、ICP 源老化;

- 膜層顆粒多:屏蔽罩積膜起皮、工件工裝清潔不到位。

此貼長(zhǎng)期有效，聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是從處理網(wǎng)看到的。