描述：

二手日本光馳帶涉頻源介質(zhì)膜/金屬膜/AR膜/ AF膜光學(xué)鍍膜機(jī)介紹

設(shè)備尺寸:

設(shè)備名稱?OTFC-1550CBI/DBI

真空室?SUS304, φ1550mm×1800mm (H)

工件架?φ1400mm

工件架轉(zhuǎn)速?10rpm to 30rpm(可變)

光學(xué)膜厚控制?HOM2-R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀

波長范圍:350nm to 1100nm

反射式/透射式

水晶式膜厚計(jì)?XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源?電子2套

離子源?17cmRF離子源

機(jī)械性能:

排氣系統(tǒng)?機(jī)械泵+2個(gè)擴(kuò)散泵+Polycold(或2個(gè)冷凝泵)

達(dá)到壓力?7.0×10-5Pa 以下

排氣時(shí)間?15分(大氣壓~1.3×10-3Pa)

基板溫度?最高:350℃

工作條件:

設(shè)備尺寸?約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H)

電源?3相,200v,50/60Hz, 約120KVA

水流量?180升/分以上

空氣壓力?0.5MPa以上

重量?約10000kg

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