描述：

OTFC-1550光學(xué)鍍膜機配置:

真空室:SUS304,Ф1550*1800MM

工件架:Ф1400

工件架轉(zhuǎn)速:10rpm to 30rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制:HOM2

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀:波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式

蒸發(fā)源:雙,傘一個

離子源:23寸射頻源

排氣系統(tǒng):光馳鍍膜機泵組一套

電源:3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA

水流量:180升/分以上

空氣壓力:0.5MPa以上

重量:約11000kg

年份:2019年

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