描述：

性能優(yōu)勢

鍍膜均勻性好:采用可變修正板技術(shù),能確保 Dome 全體及 Batch 間的膜層均勻性。

操作便捷:具備自動化工藝管理系統(tǒng),可進行故障自動診斷并提示解決方案。

低維持成本:以同一生產(chǎn)量為準,與已有的 Double Door 設(shè)備相比,Tride series 在空間、電源、水、人工費等方面的成本更低。

HVC-2050DA:真空室尺寸為 Φ2050mm×1610mm,材質(zhì)為 SUS304 不銹鋼。其配備韓一 12 六型電子(1-2 套),配 12 穴坩堝,支持多層膜蒸發(fā),還可配置韓一霍爾源或 17cmRF 離子源,增強膜層附著力,適用于光學器件、消費電子等領(lǐng)域。

此貼長期有效，聯(lián)系我時，請說明是從處理網(wǎng)看到的。