Univac-2000H系統(tǒng)是Univac系列之一,最適合用于頭盔防護(hù)罩和護(hù)目鏡的涂層,以提高安全性并保護(hù)眼睛。
浸漬薄膜涂層的形成是通過 LON束輔助沉積實(shí)現(xiàn)的。
系統(tǒng)模型 UNIVAC-2000H
工藝室 02000xH1750
抽水系統(tǒng) 擴(kuò)散 28"x2套或低溫泵22英寸x2套
機(jī)械助力泵 2,590米赫-1
油回轉(zhuǎn)泵 292㎡h-1
梅斯納陷阱 聚冰
基板載體 卡洛特直徑 2,500毫米
基板加熱 鹵素加熱器 最高可達(dá)250℃
蒸發(fā)源 電子束源 10kw
熱源 1或2艘船型
基材處理 離子源 終點(diǎn)大廳類型
薄膜厚度通知 石英晶體厚度監(jiān)測 SQM
光學(xué)厚度監(jiān)測(可選) OPM
效用 力量 3ph 380/220V
自由度 交流50-60赫茲
力量 90kw(最大)
水壓 2~4千克重/厘米
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