描述：

日本光馳 OTFC-1550 鍍膜機(jī)是一款面向光學(xué)薄膜制造的高端設(shè)備,以下是其相關(guān)介紹:

基礎(chǔ)配置

真空室:尺寸為Ф1550×1800mm,材質(zhì)為 SUS304 不銹鋼,具有高耐腐蝕性和良好的密封性。

工件架:直徑Ф1400mm,轉(zhuǎn)速 10 - 30rpm 可調(diào),能支持多類(lèi)型基板均勻鍍膜。

射頻源與蒸發(fā)源:配備 23 寸射頻離子源,可通過(guò)高密度離子電流提升膜層致密性和耐摩擦性。蒸發(fā)源采用雙電子(16F 型號(hào)),搭配 12 穴環(huán)形坩堝及熱阻蒸裝置,支持復(fù)雜多層鍍膜,可鍍 100 層以上。

排氣系統(tǒng):采用機(jī)械泵(275/SV630 型號(hào))+ 羅茨泵(愛(ài)德華品牌)組合,配合擴(kuò)散泵及低溫冷凝器(POLYCOLD),極限真空度≤7.0×10??Pa,抽氣至工作真空僅需 15 分鐘。

膜厚監(jiān)控:集成 HOM2R - VIS350A 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀,波長(zhǎng)范圍 350 - 1100nm,搭配 6 點(diǎn)式水晶傳感器和晶控系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)納米級(jí)精度控制。

此貼長(zhǎng)期有效，聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說(shuō)明是從處理網(wǎng)看到的。