日本昭和 Sapio-DBR SGC-S1550i 光學(xué)鍍膜機(jī),以下是關(guān)于它的詳細(xì)介紹:
設(shè)備概述:日本昭和 Sapio-DBR SGC-S1550i 鍍膜機(jī)是專為實(shí)現(xiàn)高性能 LED 多層光學(xué) DBR 膜設(shè)計(jì)的光學(xué)鍍膜設(shè)備,在光學(xué)薄膜量產(chǎn)應(yīng)用方面表現(xiàn)出色。
性能特點(diǎn)
高效率排氣系統(tǒng):集成機(jī)械泵 + 羅茨泵 + 擴(kuò)散泵及 POLYCOLD 低溫冷凝器,極限真空≤7.0×10??Pa,抽真空至工作狀態(tài)僅需 15 分鐘,可顯著提升生產(chǎn)效率。
顆粒污染控制技術(shù):通過特殊選購配置降低微塵污染,結(jié)合真空密封技術(shù),連續(xù) 20 批次 IR 截止濾光片鍍膜無需清掃校正,能有效保障鍍膜的潔凈度與工藝穩(wěn)定性。
高精度膜厚控制系統(tǒng):采用光纖式光學(xué)膜厚儀及 80 點(diǎn)監(jiān)控玻璃的恒溫設(shè)計(jì),結(jié)合 XTC/3+6 點(diǎn)水晶傳感器,可實(shí)現(xiàn) ±0.1nm 級(jí)膜厚公差控制,確保膜層厚度的高精度。
高功率大面積 RF 離子源:配備 23 英寸專用 RF 離子源,支持Ф1150mm 以上輻照面積,離子束聚焦精準(zhǔn),適用于樹脂基片至多層濾波片的高品質(zhì)鍍膜。
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