描述：

MEMF管道式氣體質(zhì)量流量計廣東廣州!

產(chǎn)品概述

本產(chǎn)品采用MEMS質(zhì)量流量傳感器技術(shù),能根據(jù)用戶的需求提供在線流量計量。傳感器系采用CMOS兼容MEMS工藝制造。傳感器可測量低至0.01m/sec及65m/sec。針對不同的應(yīng)用,傳感器可用于測量氣體的質(zhì)量流量、體積流量及 介質(zhì)流速。專門設(shè)計的電路具有放大及微小信號處理功能以輸出。

不同于其它MEMS傳感技術(shù),單個傳感芯片上集成多個傳感器。芯片表面采用具有高導(dǎo)熱性能的陶瓷材料鈍化處理,在傳感器的靈敏度的同時避免傳感器與氣體介質(zhì)直接接觸以提高。當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過MEMS傳感器芯片時,傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場(溫度分布)。當(dāng)被檢測氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時,溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重分布。這種局部溫度場變化取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量,通過校準(zhǔn),專門設(shè)計的信號處理電路和智能控制軟件測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流速。介質(zhì)質(zhì)量流速則可換算成體積流速及累計介質(zhì)體積流量。

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