描述：

單面平面研磨機(jī)

設(shè)備只有一個(gè)研磨盤(下盤)作為主運(yùn)動(dòng)盤,做旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。

工件通過(guò)夾具或吸盤固定在研磨頭(或保持架)上,研磨頭帶動(dòng)工件以設(shè)定的壓力壓向研磨盤表面。

研磨過(guò)程中,工件既隨研磨頭公轉(zhuǎn),又可自身自轉(zhuǎn),與研磨盤上的研磨液(含磨料)產(chǎn)生相對(duì)摩擦,實(shí)現(xiàn)單面的精密研磨。

適用于非對(duì)稱工件或只需單面加工的場(chǎng)景,如光學(xué)棱鏡、精密模具單表面等。

雙面平面研磨機(jī)

配備上、下兩個(gè)研磨盤,通常下盤主動(dòng)旋轉(zhuǎn),上盤可調(diào)節(jié)壓力并隨動(dòng)或反向旋轉(zhuǎn)。

工件放置在行星式保持架(游星輪) 內(nèi),保持架在太陽(yáng)輪和內(nèi)齒圈的驅(qū)動(dòng)下,帶動(dòng)工件做公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn)的復(fù)合運(yùn)動(dòng)。

工件上下表面同時(shí)與研磨盤,通過(guò)磨料的切削作用實(shí)現(xiàn)雙面同步研磨,加工效率高,且能保證極高的平行度。

適用于薄脆、對(duì)稱工件,如硅晶圓、光學(xué)玻璃鏡片、陶瓷基板、手機(jī)鏡頭鏡片等。

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