二手進口韓國硅片雙面拋光機 硅片減溥機 晶圓片研磨機
5個電機獨立控制 上盤 下盤 中心齒 中心軸 外齒圈,可調(diào)節(jié)正反轉(zhuǎn)加工,磨粉循環(huán)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)加工模式,清洗模式,比Humai16b機器加工性能高,可控性好,多處感應開關,操作安全系數(shù)
設備采用重力加壓研磨原理,配備油壓懸浮導軌修盤系統(tǒng),四臺 7.5Kw 電機獨立控制上 / 下盤及傳動機構。其研磨盤尺寸為 φ1150mm,下研盤轉(zhuǎn)速范圍為 0-50rpm,壓力控制采用電 - 氣比例閥閉環(huán)反饋,平面度可達 0.001mm 級。
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