描述：

最大工件尺寸

標(biāo)準支持 φ8 英寸晶圓或 250mm×250mm 方形工件,特殊選配可擴展至 φ300mm 晶圓(需定制)。兼容不規(guī)則樣品,最小尺寸不小于 5mm×5mm。

切割范圍

X 軸:260mm(水平方向傳遞)

Y 軸:260mm(刀片進刀方向)

Z 軸:最大行程 32.2mm(1.8kW 主軸)或 31.4mm(2.2kW 主軸),重復(fù)定位精度 1μm。

θ 軸:旋轉(zhuǎn)角度 380°,用于平面角度調(diào)整。

切割速度

0.1-600mm/s(X 軸進刀速度),支持高精度低速切割(如開槽)和高速切斷。

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