描述：

工件尺寸

標(biāo)準(zhǔn)支持 φ8 英寸(200mm)晶圓或 250mm×250mm 方形工件。

特殊選配可擴(kuò)展至 φ300mm 晶圓(需定制),兼容最小 5mm×5mm 的不規(guī)則樣品。

切割深度最大 1.5mm(硅片),玻璃切割深度需根據(jù)刀片配置調(diào)整。

材料兼容性

可加工硅、陶瓷、玻璃等硬度不超過石英的材料,但無法處理藍(lán)寶石、金剛石等超硬材料。

標(biāo)配 1.8kW 主軸適合常規(guī)硅片切割,可選配 2.2kW 高扭矩主軸(支持 φ5 英寸刀片),用于陶瓷、厚材料等高負(fù)荷加工。

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