描述：

加工范圍

最大晶圓尺寸:Φ300mm(兼容更小尺寸)。

切割范圍:X 軸、Y1/Y2 軸均為 310mm,支持大尺寸晶圓的多道切割。

切割速度:0.1~600mm/s,可根據(jù)材料硬度和切割深度靈活調(diào)整。

主軸配置

標(biāo)準(zhǔn)主軸:1.2kW 高剛性主軸,轉(zhuǎn)速范圍 6,000~60,000min?1,適合常規(guī)硅片等材料。

可選主軸:

1.8kW 主軸(Φ2 英寸刀片):轉(zhuǎn)速 6,000~60,000min?1,扭矩 0.29N?m,增強(qiáng)玻璃、陶瓷等中負(fù)載材料的加工穩(wěn)定性。

2.2kW 主軸(Φ3 英寸刀片):轉(zhuǎn)速 3,000~30,000min?1,扭矩 0.7N?m,專為高負(fù)載材料(如藍(lán)寶石、碳化硅)設(shè)計(jì)。

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