描述：

白光干涉儀的測量應(yīng)用:

光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高、操作便捷、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),確保了高效率檢測。光學(xué)3D表面輪廓儀獨有的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測。Veeco公司在掃描探針顯微鏡基本工作原理干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關(guān)的其他物理量。測量精度決定于測量光程差的精度,干涉條紋每移動一個條紋間距,光程差就改變一個波長(~10-7米),所以干涉儀是以光波波長為單位測量光程差的,其測量精度之高是任何其他測量方法所無法比擬的。白光干涉儀的主要功能: 觀察、分析、應(yīng)用特點:1 、非式測量:避免物件受損。2 、三維表面測量:表面高度測量范圍為 1nm 200μm。3 、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。

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