描述：

主軸系統(tǒng)

轉(zhuǎn)速范圍:3,000–40,000 rpm(標(biāo)準(zhǔn)模式),可根據(jù)材料調(diào)整(如硅片常用 23,000–36,000 rpm,玻璃 / 陶瓷建議 25,000 rpm 以下)。

功率:1.5 kW(空氣主軸),支持高扭矩切割。

刀片適配:標(biāo)準(zhǔn)直徑 φ58 mm,可兼容 φ2" 刀片,刀刃寬度 15–35 μm(金剛石顆粒尺寸 2–6 μm)。

軸運(yùn)動性能

X 軸:

行程:248 mm(切割范圍 192 mm),進(jìn)刀速度 0.1–300 mm/s(部分來源顯示 0.1–500 mm/s,可能因配置差異)。

定位精度:±0.003 mm(單軸誤差)。

Y 軸:

行程:162 mm,最小步進(jìn)量 0.0001 mm,定位精度 0.0015 mm/160 mm。

Z 軸:

行程:32 mm,重復(fù)定位精度 0.001 mm,移動分辨率 2 nm。

θ 軸:

旋轉(zhuǎn)角度:320°(±160°),定位精度 ±0.001°。

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