描述：

加工能力

最大加工尺寸:Φ300mm 晶圓

主軸配置:對向式雙主軸設(shè)計(jì),通過縮短主軸間距實(shí)現(xiàn)雙刀同步切割,相比前代機(jī)型生產(chǎn)效率提升約 7%。

切割速度:X 軸進(jìn)刀速度范圍 0.1-1,000mm/s,支持高速切割與精密微調(diào)。

定位精度:Y 軸最小步進(jìn)量達(dá) 0.0001mm,定位精度≤0.002mm/310mm 行程,Z 軸重復(fù)定位精度≤0.001mm。

主軸性能

轉(zhuǎn)速范圍:6,000-60,000 min?1(1.2kW/1.8kW 版本),部分配置支持 80,000 min?1 高速旋轉(zhuǎn)。

扭矩輸出:1.8kW 主軸提供 0.29N?m 扭矩,可適配 Φ58mm 標(biāo)準(zhǔn)刀片,兼容硅、陶瓷等硬質(zhì)材料切割。

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