描述：

主軸系統(tǒng)

額定功率:1.0kW(60,000 min?1 時)

最大轉(zhuǎn)速:60,000 轉(zhuǎn) / 分鐘

扭矩:0.16 N?m

主軸徑向剛性通過同步主軸技術優(yōu)化,適合高負荷切割。

軸運動性能

X 軸:切割范圍 210mm,進刀速度 0.1-450mm/s(部分資料顯示 0.1-600mm/s,可能因刀片配置差異)。

Y 軸:最小步進量 0.0001mm,定位精度 0.003mm/210mm(單一誤差 0.002mm/5mm)。

Z 軸:重復定位精度 0.001mm,最大行程 7.2mm(適配 φ2 英寸刀片)。

θ 軸:最大旋轉(zhuǎn)角度 380°,支持晶圓多角度切割。

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