主要特點(diǎn)
高精度測(cè)量:能夠提供納米級(jí)精度的測(cè)量,可快速、可靠地測(cè)量光學(xué)元件、系統(tǒng)和組件的表面形狀誤差和透射波前。
多種創(chuàng)新技術(shù):如 Qualifire 型號(hào)配備的飛點(diǎn)模塊,集成了 RoF 技術(shù)和環(huán)紋抑制技術(shù)(CARS),能有效減少甚至消除噪聲、灰塵等偽影,提高測(cè)量的可靠性和可重復(fù)性。
智能附件接口:干涉儀可以自動(dòng)識(shí)別安裝的 “智能附件”,并自動(dòng)加載應(yīng)用系統(tǒng)誤差文件以及進(jìn)行橫向校準(zhǔn),提高測(cè)量效率和準(zhǔn)確性。
優(yōu)化的用戶體驗(yàn):具有體積小、重量輕、操作方便等特點(diǎn),如 Qualifire 系列中最小的型號(hào)重約 20.4 千克,是真正的便攜式設(shè)備;同時(shí),其設(shè)計(jì)有優(yōu)化的電源按鈕、機(jī)械安裝支腳和更大的控制旋鈕,便于操作和調(diào)整。
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