描述：

非球面激光干涉儀是一種用于高精度測量非球面光學元件表面形貌的儀器,在光學制造、航空航天等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。以下是關(guān)于它的詳細介紹:

工作原理

基于干涉原理:非球面激光干涉儀通?；诜扑鞲缮嬖砘蛱┞窳指缮嬖?。以菲索型為例,它以激光為光源,利用激光的高相干性,將從菲索標準鏡反射的參考光與從被測非球面反射的測試光進行干涉。當被測非球面存在面形誤差時,參考光與測試光之間會產(chǎn)生光程差,從而形成干涉條紋,通過對干涉條紋的分析,可計算出被測非球面的面形參數(shù)。

結(jié)合 CGH 技術(shù):對于一些復(fù)雜的非球面,常采用 “干涉儀 + CGH(計算機生成全息圖)” 技術(shù)。CGH 可將干涉儀出射的標準球面或平面波前,精確修正為與被測非球面理論面形完全匹配的非球面波前。若被測非球面面形完美,反射后的定制波前將沿原光路返回,與參考波前形成均勻零場;若存在面形偏差,反射波前會發(fā)生扭曲,進而產(chǎn)生可量化分析的干涉條紋。

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