描述：

Keithley 6517A 5 1/2 位靜電計/高電阻表提供極高的精度和靈敏度規(guī)格。它還提供了多種功能,可簡化高電阻和絕緣材料電阻率的測量。Keithley 6517A 的讀取速率高達每秒 125 個讀數(shù),其速度也明顯快于同類靜電計,因此它提供了一種快速、簡單的方法來測量低電平電流。

測量高達 1018Ω 的電阻

10aA(10×10-18A)電流測量分辨率

小于 3fA 輸入偏置電流

6 1/2 位高精度測量模式

低電流范圍內(nèi)的負載電壓小于 20μV

輸入阻抗 >200TO 時電壓測量高達 200V

內(nèi)置+/-1000V電壓源

用于高電阻測量的獨特的交流極性電壓源和測量方法

用于四種不同器件特性測試、表面電阻率和體積電阻率、表面絕緣電阻和電壓掃描的內(nèi)置測試序列

可選插入式掃描儀卡,可通過一種測試設置測試多達 10 個設備或材料樣

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