描述：

1. 激光光源與光束分割

設(shè)備首先發(fā)射單色、高相干性的激光(如 He-Ne 激光,波長穩(wěn)定,便于精度校準(zhǔn)),激光束經(jīng) “偏振分光棱鏡(PBS)” 或 “半透半反鏡” 被分為兩束:

參考光束(Reference Beam):一束光被導(dǎo)向 “標(biāo)準(zhǔn)參考鏡”(通常是高精度平面鏡 / 球面鏡,其表面精度已校準(zhǔn)至納米級(jí),視為 “無誤差標(biāo)準(zhǔn)”);

測量光束(Measurement Beam):另一束光被導(dǎo)向 “被測物體”(如光學(xué)鏡片、半導(dǎo)體晶圓、精密零件表面)。

2. 光束反射與疊加

參考光束照射到標(biāo)準(zhǔn)參考鏡后,按原光路反射回分光元件;

測量光束照射到被測物體表面后,會(huì)因被測表面的凹凸(或透射時(shí)的折射率變化)發(fā)生 “波前畸變”,隨后也反射回分光元件;

兩束反射光(參考光束 + 畸變的測量光束)在分光元件處重新匯合疊加,形成干涉條紋圖案。

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