分子泵的核心部件是旋轉(zhuǎn)葉片和固定葉片(圖1)。旋轉(zhuǎn)葉片的轉(zhuǎn)速達(dá)1800~90000rpm,葉片端的速度達(dá)數(shù)百m/s,接近分子的平均速度,通過和氣體分子的碰撞將氣體分子搬運(yùn)到排氣口。當(dāng)對向設(shè)置的旋轉(zhuǎn)葉片進(jìn)行高速轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體分子從吸氣側(cè)運(yùn)動(dòng)到排氣側(cè)的幾率是A,
回收單晶爐,長晶爐,多晶硅爐,半封閉母線槽,插接式母線槽,水冷空調(diào)、制冷設(shè)備,冷凝器、電容柜,電線電纜
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