描述：

季度維護(hù)(每 3 個(gè)月,4-6 小時(shí))

1. 泵組深度保養(yǎng)

機(jī)械泵換油:排空舊油,用無水乙醇沖洗泵腔 2-3 次,加入原廠指定型號(hào)泵油至刻度線;更換油濾、氣鎮(zhèn)過濾器。

分子泵維護(hù):檢查分子泵軸承狀態(tài),記錄振動(dòng)值,若振動(dòng)超標(biāo),聯(lián)系廠家更換軸承;清潔分子泵入口濾網(wǎng)。

擴(kuò)散泵換油:加熱泵體使舊油流出,清洗泵腔與噴嘴,去除積碳,加入新擴(kuò)散泵油(按設(shè)備手冊(cè)加注量),嚴(yán)禁混入水分。

2. 蒸發(fā)與離子源系統(tǒng)檢修

拆卸電子槍,清潔槍室內(nèi)部,檢查偏轉(zhuǎn)線圈、聚焦電極的絕緣性,校準(zhǔn)電子束光斑位置,確保光斑聚焦在坩堝中心。

拆解離子源(17cm RF),更換老化燈絲,清潔放電室內(nèi)壁,重新安裝后測(cè)試離子電流密度穩(wěn)定性。

3. 腔體與附件維護(hù)

對(duì)真空室進(jìn)行等離子清洗:通入 Ar 氣,啟動(dòng)離子源,功率 100-200W,清洗 15-20 分鐘,去除腔壁頑固殘膜。

檢查工件架夾具的緊固螺栓,復(fù)緊松動(dòng)部件,防止鍍膜時(shí)樣品偏移。

此貼長(zhǎng)期有效，聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)說明是從處理網(wǎng)看到的。