關(guān)鍵流程(以 OTFC 系列為例)裝料與預(yù)抽:放入基板,關(guān)閉腔體,機(jī)械泵抽至低真空。高真空制備:分子泵 / 擴(kuò)散泵抽至高真空,深冷系統(tǒng)輔助凈化?;寮訜?升溫至設(shè)定溫度,去除表面水汽。離子清洗:離子源轟擊基板,清潔表面。蒸發(fā)沉積:電子束 / 電阻加熱蒸發(fā)膜料,離子輔助成膜,按膜系逐層沉積。冷卻與破真…
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進(jìn)口韓一手機(jī)鏡片蒸發(fā)鍍膜機(jī)/鞋標(biāo)行業(yè)電鍍機(jī)/鞋低真空鍍膜機(jī)介紹正常工作時,發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣正常工作時,發(fā)現(xiàn)設(shè)備突然漏氣,如馬上能找到泄露點(diǎn),須用真空封泥把泄露點(diǎn)封住,待工作完畢后,再做處理。如不能確定泄露處,則應(yīng)立即停止工作,然后檢修。高溫時斷水、斷電真空設(shè)備最怕的就是高溫時斷水、斷電。因此用戶最好…