電子槍:肖特基發(fā)射類型(Schottky emission),提供高亮度、低能量發(fā)散的電子束,確保納米級(jí)分辨率。
加速電壓:500V 至 1,600V(部分來(lái)源顯示為 0.5kV 至 1.3kV,可能因配置差異),支持 10V 步進(jìn)調(diào)節(jié),適用于不同導(dǎo)電特性的樣品。
分辨率:二次電子像(SEI)分辨率達(dá) 3nm(3σ),可清晰觀察晶圓表面的亞微米結(jié)構(gòu)。
放大倍數(shù):500x 至 300,000x,覆蓋從宏觀到原子級(jí)的觀察需求。
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