描述：

電子槍類型:冷場發(fā)射型(Cold Field Emission Gun),具備高亮度(~2×10? A/cm2/sr)和低能量發(fā)散(0.2-0.3 eV)。

分辨率:

15 kV 加速電壓:≤1.5 nm(工作距離 12 mm);

1 kV 加速電壓:≤2.1 nm(部分文獻標注為 2.5 nm,可能受工作距離影響)。

加速電壓范圍:0.5-30 kV 連續(xù)可調(diào),支持低電壓操作以減少樣品損傷。

放大倍數(shù):

低倍模式(LM):30×-2,000×;

高倍模式(HM):250×-500,000×。

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