晶圓尺寸兼容性
支持 6 英寸(150mm)和 8 英寸(200mm)晶圓加工,適用于硅(Si)、碳化硅(SiC)等硬脆材料的背面減薄及精細(xì)磨削。
電源與功耗
輸入電源:AC 200V,50/60Hz,3 相,總功率需求 17kVA。
主軸電機(jī)功率未直接提及,但同系列機(jī)型(如 DFG8640)主軸功率為 6kW,DFG840 可能采用類(lèi)似配置。
轉(zhuǎn)速范圍
砂輪主軸轉(zhuǎn)速:最高可達(dá) 5200rpm(精磨場(chǎng)景典型值)。
載盤(pán)轉(zhuǎn)速:120rpm(多工位同步旋轉(zhuǎn))。
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