描述：

一、基礎(chǔ)規(guī)格

晶圓兼容性

支持6 英寸(Φ150mm)和 8 英寸(Φ200mm)晶圓,可處理厚度范圍 1mm 以上的工件。

電源要求

電壓:AC 200V(3 相)

頻率:50/60Hz

最大功率:17kVA

接地標(biāo)準(zhǔn):JIS 第三類(≤100Ω)

二、機(jī)械與運(yùn)動(dòng)參數(shù)

主軸系統(tǒng)

電機(jī)功率:4.2kW(直接驅(qū)動(dòng)高壓電機(jī))

轉(zhuǎn)速范圍:1,000~7,000rpm(1rpm 步進(jìn)精度)

行程:110mm(Z 軸進(jìn)給范圍)

砂輪規(guī)格:適配 Φ200mm 金剛石砂輪(參考同系列機(jī)型 DFG8640)

研磨方式

進(jìn)給模式:采用定深進(jìn)給研磨(In-feed Method),支持晶圓旋轉(zhuǎn)同步加工。

加工效率:研磨速度可達(dá) 300-500μm/min(參考同類設(shè)備參數(shù))。

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