9B 平磨機(常稱 9B 雙面研磨 / 拋光機)是一款用于薄脆硬脆材料雙平面精密加工的設備,以四電機驅(qū)動、行星式運動與高平面度 / 平行度為核心優(yōu)勢,廣泛用于光學、半導體、精密陶瓷等領域。
核心定位與優(yōu)勢
核心功能:同時研磨工件上下兩表面,通過游星輪公轉(zhuǎn) + 自轉(zhuǎn)實現(xiàn)均勻去除,兼顧效率與高精度。
關(guān)鍵優(yōu)勢:四電機獨立調(diào)速,可實現(xiàn)游星輪正反轉(zhuǎn),適配修盤與不同工藝;上盤可 90° 擺出、緩降加壓防崩邊;支持修盤、光柵厚度閉環(huán)控制,平面度可達 0.2μm(φ10mm)、平行度 0.002mm(φ25mm)。
典型結(jié)構(gòu)組成
部件 核心功能 關(guān)鍵特點
研磨盤 提供研磨 / 拋光面 上盤 φ622~φ640×φ218~φ235×25~30mm;下盤同徑略厚,帶溝槽導液
游星輪(保持架) 承載工件做行星運動 常見 Z=108/DP12,5 片,適配 φ180mm 內(nèi)工件
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