描述：

UNIVAC-2050鍍膜機設備配置表

設備配置明細

序號 品名 數(shù)量 單位 品牌

1 機腔 1 臺 UNIVAC-2050

2 機械泵 1 臺 韓國真空泵

3 羅茨泵 1 臺 韓國羅茨泵

4 電子槍 1 臺 聯(lián)合

5 電子槍鉗鍋 1 套 12 穴

6 離子源 1 臺 聯(lián)合霍爾源

7 流量計(MFC) 2 路 聯(lián)合

8 壓控APC 1 套 聯(lián)合

9 電控箱 加熱系統(tǒng) 1 套 下加熱

晶控 1 臺 IC5

PLC 及系統(tǒng) 1 臺 聯(lián)合原裝

10 Poly-Cold 冷凍機 2 臺 三星POLYCOLD

11 真空控制計 1 套 聯(lián)合

12 護板 1 套 聯(lián)合

13 阻蒸 1 套 聯(lián)合

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