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晶圓兼容性支持 8 英寸(200mm)晶圓,可通過(guò)適配器兼容 150mm 晶圓。中央真空傳輸腔設(shè)計(jì)確保晶圓在多腔室間無(wú)縫傳輸,減少顆粒污染風(fēng)險(xiǎn)。真空系統(tǒng)基準(zhǔn)壓力:
江蘇 - 徐州
因換鑄造工藝 真空泵用不到了