描述：

葉片的角度大,則排氣速度大,壓縮比小。葉片的角度小,則排氣速度小,壓縮比大。分子泵的排氣速度基本上不受氣體種類(lèi)的影響,泵的極限壓強(qiáng)可達(dá)10-8 Pa,但是對(duì)輕分子/原子,排氣速度會(huì)有所降低。

分子泵是一種高速旋轉(zhuǎn)的機(jī)械泵,因此對(duì)平衡的要求很高,對(duì)固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過(guò)濾網(wǎng)。分子泵在工作過(guò)程中,如果壓強(qiáng)突然惡化,則有可能損壞葉片。

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