描述：

日常保養(yǎng)(每班 / 每日,操作完成后 15-30 分鐘內(nèi)完成)

聚焦腔室清潔、表面除塵、參數(shù)檢查、耗材初檢,快速消除當(dāng)班使用后的污染和潛在問題,為下次開機做準(zhǔn)備。

真空腔室內(nèi)部清潔

用無塵布蘸取無水乙醇(99.9% 以上) 擦拭腔室內(nèi)壁、基片架、擋板、電極座表面,去除鍍膜過程中沉積的薄膜殘渣、粉塵,重點擦拭濺射靶材周邊、離子源出口等易積灰部位;

若腔室內(nèi)有頑固膜層殘渣,用專用陶瓷刮刀 / 塑料刮刀輕輕刮除(嚴(yán)禁用金屬刮刀劃傷腔室不銹鋼內(nèi)壁,避免影響真空密封性);

用高純氮氣(99.999%) 吹掃腔室內(nèi)部及各角落,將殘留的乙醇、粉塵吹凈,確保腔室內(nèi)無懸浮雜質(zhì)。

腔室密封部件檢查

檢查腔室門氟橡膠 / 丁晴橡膠密封圈表面是否有油污、劃痕、變形,用無塵布蘸無水乙醇擦拭密封圈及密封槽,擦拭后均勻涂抹一層高真空硅脂(薄涂,避免過多硅脂揮發(fā)污染腔室);

檢查密封圈卡扣是否緊固,若有松動及時擰緊,防止真空泄漏。

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