描述：

回收/出售二手韓一2050 2700 真空鍍膜機(jī) 電鍍機(jī) 含安裝調(diào)試介紹

規(guī)格

腔體尺寸 2.050

低真空泵 油旋轉(zhuǎn)泵(選項(xiàng):干式泵),機(jī)械增壓泵

高真空泵 油擴(kuò)散泵(選項(xiàng):低溫泵),低溫冷阱(波利科爾德

蒸發(fā)源 電子束源

沉積控制 QCM(選項(xiàng):人事管理局)

基板夾具 可選:分段圓頂(3/6/7),翻轉(zhuǎn),行早夾具

控制系統(tǒng) HOPE(過程控制和監(jiān)控-PC系統(tǒng))

EB(電子) 1GUN 韓一 12穴

離子源 韓一 (霍爾)

機(jī)械泵 愛德華 EM275

羅茨泵 愛德華EM2600

深冷 韓國V-PLUS1000H

晶控 XTC/3S+單探頭

加熱方式 下加熱鹵燈

以客戶滿足為主 HVC-2050DA

耐久性

P采取***設(shè)計(jì)技法 在 Chamber 及 Door 防止 Crack, 具備堅(jiān)固的門

***薄膜均勻性及重復(fù)性

按照物質(zhì)分蒸發(fā)特性采用可變修正板*** Dome 全體的均勻性, Batch 之間質(zhì)量無變.

此貼長期有效，聯(lián)系我時(shí)，請說明是從處理網(wǎng)看到的。