測量范圍
X 軸:200mm
Y 軸:250mm
Z 軸:100mm
工作臺(tái)玻璃尺寸:269×311mm
最大工件高度:110mm,臺(tái)面承重 10kg
精度指標(biāo)
XY 軸精度:(2.5 + 6L/1000) μm(L 為測量長度,單位 mm)
Z 軸精度:(5 + 6L/1000) μm
分辨率:0.1μm(線性編碼器)
光學(xué)系統(tǒng)
變焦范圍:0.5X-3.5X(8 級(jí)電動(dòng)變焦)
總放大倍率:21X-147X(配合 21 英寸顯示器)
相機(jī):彩色 CCD 或 CMOS 傳感器(300 萬像素)
照明系統(tǒng):
同軸光、透射光、環(huán)形光纖照明(標(biāo)配)
四象限 LED 光源(可選)
驅(qū)動(dòng)與控制
運(yùn)動(dòng)控制:X/Y/Z 軸 CNC 驅(qū)動(dòng),支持自動(dòng)對焦
軟件:QSPAK 測量軟件,支持邊緣探測、宏程序、圖形匹配等功能
數(shù)據(jù)接口:USB、以太網(wǎng),支持 Measurli<x>nk 數(shù)據(jù)管理系統(tǒng)
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