描述：

1. MX60 系列(高精度綜合測量)

適用晶圓:150mm、200mm、300mm。

厚度范圍:500–800μm(可選 300–600μm)。

厚度精度:±0.05μm(MX608 型號)。

電阻率范圍:0.001–200Ω?cm,精度 ±1%(0.001–80Ω?cm)至 ±5%(200Ω?cm)。

掃描速度:單點(diǎn) 7 秒,18 次掃描(3240 點(diǎn))約 3 分鐘。

邊緣測量:150mm 晶圓可測至 130mm 邊緣,200mm 可測至 180mm 邊緣。

2. MX10 系列(高分辨率厚度測量)

MX102-8 型號

晶圓尺寸:150mm、200mm。

厚度精度:±0.1μm,分辨率 10nm。

TTV 精度:±50nm。

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