描述：

晶圓尺寸:支持 50mm(2")、76mm(3")、100mm(4")、125mm(5")、150mm(6")、200mm(8")的晶圓。

基板材料:硅或任何不透明的、拋光表面,其散射入射光小于 5%。

缺陷靈敏度:0.10μm 直徑的 PSL 球等效物,捕獲率大于 90%。

霧度靈敏度:0.02ppm。

霧度分辨率:0.002ppm。

重復性:在 1σ 下為 0.5%(平均計數(shù)大于 500,0.364μm 直徑的乳膠球)。

動態(tài)范圍:一次測量中為 0.01μm 至 9999μm。

吞吐量:使用 150mm 晶圓時高達每小時 100 片。

卡匣處理:從兩個卡匣(一個發(fā)送器 / 接收器,一個接收器)進行單盤晶圓處理。

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